超耐熱ガラスのサファイヤガラス

サファイアガラスの二光光学株式会社『超耐熱ガラスのサファイヤガラス』です。


耐熱ガラス(耐熱ガラスとして、サファイアガラスがどの様に優れているか)



 一般的に「耐熱ガラス」と言われて、耐熱認証マークが付いて保障されている
耐熱温度は、120℃ですし、またガラスの溶融点は最高780℃です。

  これに比較して、サファイアガラスは、下記の表からも明らかな様に、耐熱の
根源である「熱伝導率」がガラスに比較して、数十倍優れていることや、物理的
な圧縮強度もガラスに比較して、数段優れていることで、光透過物その物の厚
さを薄くすることが できる点などから、耐熱特性には非常に好条件がそろった
素材と言えるのです。

  また、半導体プロセスの使用条件や、ルツボや圧力センサー等の使用条件、
そしてサファイアガラス基板上への蒸着条件等々・・・を見ても、ガラス使用時
代では考えられない超高温での作業環境が実現しています。

 

耐熱表

 

●サファイアガラス使用例

圧力センサー  耐熱温度上限 300℃ 実験 500℃ OK

半導体プロセスガスの多様化で耐高温・耐腐食性が必要

弗化水素・硫酸・硝酸・塩酸 300℃の高温にも耐える。殆ど腐食もされない。

金属の融液 Mg Cr Co Ni Na K Bi Zn Cs 800~1000℃でも OK

サファイアガラス管・ルツボなどは、1850℃でも常用可能

UV殺菌・プラズマエッチング・高圧力測定に適材

サファイア基板上への蒸着は 1500℃でも OK (耐熱性・科学的安定性)

(日本硝子製品工業会「耐熱認証マーク」付き耐熱ガラスの
                               認証温度 120℃以上)


 

▲超耐熱ガラスのサファイアガラス へ戻る